泊苏防震基座的优点有哪些？-江苏泊苏系统集成有限公司

泊苏防震基座的优点有哪些？-江苏泊苏系统集成有限公司

泊苏防震基座具有以下优点：

1，卓越的隔振性能

（1）全频段有效隔振：能在全频段内发挥作用，无论是低频的建筑物振动还是高频的设备自身微小振动，都能有效隔离。例如，可将传递到设备的振动加速度降低到极低水平，像在 LCD 面板制造中，能有效隔离超过 90% 的振动。

（2）主动与被动隔振结合：主动隔振系统通过高精度传感器实时监测振动信号，控制系统计算并通过执行机构产生反向作用力抵消振动；被动隔振部分利用特殊弹性材料和阻尼材料，如橡胶隔振垫吸收分散高频振动，金属弹簧处理低频振动，协同提高隔振效果。

2，高精度的调节功能

（1)水平度精确调节：配备高精度水平调节装置，如螺旋千斤顶或液压调节系统，水平度调整精度可达 ±0.01mm/m，确保设备处于最佳工作状态。

(2)垂直度精确控制：垂直度调整精度可达 ±0.005mm/m，为设备提供稳定的垂直方向支撑，保障设备运行精度。

3,良好的稳定性与适应性

(1）结构稳定：基座的结构设计经过有限元分析和优化，能承受半导体设备的重量，在长期运行和受到意外冲击时保持稳定2。

（2)承载能力强：采用高强度金属框架结构与弹性隔震材料相结合，有足够承载能力支撑较重的半导体设备1。

(3)适应性广泛：可适应不同类型和尺寸的半导体设备，还能根据车间实际振动环境和设备工作要求，灵活调整参数，如通过调整主动隔振系统控制参数和更换被动隔振元件实现最佳隔振效果。

4,节能环保与长寿命

(1)绿色节能：在设计时充分考虑能耗与环保问题，采用高效节能的材质与技术，降低能耗，实现绿色生产。

(2)延长设备寿命：有效减少振动对设备内部精密部件的损害，延长半导体设备的使用寿命，降低设备更新成本。

作者：江苏泊苏系统集成有限公司