泊苏防震基座成功解决无尘车间设备振动问题的方案-江苏泊苏系统集成有限公司

泊苏防震基座成功解决无尘车间设备振动问题的方案-江苏泊苏系统集成有限公司

以下是一个成功解决无尘车间设备振动问题的案例方案：

一：案例背景：

某半导体制造企业的无尘车间内，光刻设备在运行过程中受到不明原因的振动干扰，导致光刻精度下降，产品良率从原本的 90% 降低至 70%，严重影响了生产效益和产品质量。

1，振动源排查与分析：

（1）组建专业的振动检测团队，使用高精度的振动传感器对光刻设备周边环境进行全方位监测，包括车间内的其他设备、通风系统、管道以及车间外的道路、附近工厂的生产设备等。

（2）经过一周的连续监测和数据分析，发现振动主要来源于车间外一条距离较近的主干道上的重型车辆行驶，以及车间内一台老化的真空泵运行产生的振动。重型车辆行驶引起的地面振动频率在 10 - 50Hz 之间，振幅最大可达 5μm；真空泵的振动频率为 30 - 80Hz，振幅约 3μm，这些振动通过地面和建筑结构传播到光刻设备上。

二：解决方案制定与实施：

1，外部振动源控制：

与当地交通管理部门协商，在无尘车间外的主干道上设置减速带和限重标志，减少重型车辆行驶速度和重量，从而降低车辆行驶引起的振动。同时，调整车间周边道路的交通信号灯时间，避免车辆频繁启停产生较大振动。

2，内部振动源处理：

对老化的真空泵进行全面检修和维护，更换磨损的轴承、密封件等部件，并对电机进行动平衡校正，使真空泵的振动幅度降低了 80%。此外，将真空泵的运行时间调整到与光刻设备非关键生产时段错开，进一步减少两者同时运行产生的振动叠加影响。

2，光刻设备隔振措施：

（1)为光刻设备安装了一套专门设计的泊苏的光刻机隔振系统。该系统采用了四个高精度为一传感器，根据光刻设备的重量和重心分布进行合理布局，确保设备的稳定性。空气弹簧的固有频率设计在 3 - 5Hz，能够有效隔离 10Hz 以上的振动。同时，配备了一套自动控制系统，可根据实时监测到的振动情况自动调节空气弹簧的压力和刚度，以适应不同工况下的振动隔离需求。

(2)在光刻设备与地面之间还铺设了一层橡胶隔振垫，进一步吸收和衰减低频振动，防止地面微小振动直接传递到设备上。

3,效果评估与后续维护：

(1）方案实施后，再次对光刻设备的振动情况进行监测。结果显示，设备周边的振动幅度降低了 90% 以上，光刻精度得到显著恢复，产品良率提升至 95% 以上，达到了预期的效果。

（2）建立了定期的振动监测和设备维护制度，每周对车间内的主要振动源和隔振设施进行检查和维护，确保振动问题不再出现反复，保障了半导体制造生产的稳定进行。

作者：江苏泊苏系统集成有限公司